En este proyecto se estudiarán los microacelerómetros SAW-MEMS. Especificamente, se propone un microacelerómetro cuya configuración no ha sido reportada con anterioridad en la literatura. Para desarrollar este tema es necesario profundizar en los conocimientos teóricos sobre las ondas acústicas superficiales, materiales piezoeléctricos, estructuras micromecánicas, dinámica de barras, circuitos electrónicos, metodologías de control, entre otros. El estudio de todos estos temas permitirá desarrollar un modelo, el cual con su descripción matemática y su programación permitirá evaluar su operación. También se simulará en programas comerciales para verificar nuestros resultados. Después, con la ayuda de esos programas de simulación se obtendrán las máscaras necesarias proceder a la fabricación de un prototipo.El prototipo fabricado será probado posteriormente en el laboratorio de calibración del Grupo UNAMems de la Facultad de Ingeniería._x000D_ Este proyecto permitirá consolidar un grupo de investigación en MEMS y en SAW, que y permitirá abrir otras líneas de investigación, brindandonos la experiencia necesaria para seguir progresando y aportando nuevo conocimiento sobre estos temas. _x000D_

Como ha sido mencionado en la sección de antecedentes, los sistemas micromecánicos son un área en gran expansión y actualmente se destinan muchos recursos humanos y económicos para impulsar esta tecnología. Es importante afianzar el estudio y desarrollo de estos dispositivos, y, de este modo, hacer aportaciones en el área, y así, posicionarnos como un grupo de investigación en el área de los sensores SAW-MEMS._x000D_ Durante este trabajo se hará uso de los conocimientos y experiencias adquiridas previamente para desarrollar un microacelerómetro novedoso como una alternativa de aquel estudiado anteriormente por Varadan. Este microacelerómetro estará formado por un substrato, ya sea un semiplano o multicapas, con un material piezoeléctrico, donde se propagarán las ondas acústicas y, por encima de éste a una distancia específica, se ubicará una ménsula que actúa como masa sísmica. Por arriba del cantileaver (masa sísmica) se tendrá un electrodo que actuará sobre la barra. Este microacelerómetro operará con dos realimentaciones: la primera es la que hará funcionar a la parte SAW en configuración realimentada y la segunda es la que se encargará de mantener el balance de fuerzas en la masa. Un instrumento con estas especificaciones no ha sido reportado en la literatura y se espera que presente características superiores a las proporcionadas por otros tipos de acelerómetros. _x000D_ Además, con el desarrollo de este trabajo se pretende crear y/o conjuntar un grupo cuya línea de investigación esté enfocada a buscar soluciones de problemas diversos a través de la utilización de dispositivos que operen con ondas acústicas superficiales, investigar sobre materiales apropiados para ellos , establecer y desarrollar el equipo y las técnicas apropiadas para fabricar dispositivos SAW-MEMS dentro de la Universidad e investigación básica relacionada con los dispositivos SAW-MEMS._x000D_ Como consecuencia del desarrollo de este proyecto se formarán recursos humanos que tengan la capacidad de desarrollarse competitivamente en el área y tengan conocimientos sólidos de los principios sobre los cuales operan los dispositivos SAW-MEMS para continuar con la investigación o desempeñarse en el mercado laboral._x000D_